現有實驗室：
目前有感測與量測實驗室、自動化工廠、微處理機實驗室、精密控制實驗室、微奈米磨潤實驗室、高速切削實驗室、非傳統加工實驗室供中心成員進行中心計畫執行、技術開發與教育訓練用。且於 92 年完成科技大樓，規劃一樓至二樓為中心專屬實驗空間。
現有實驗設備：
- 原子力顯微鏡
- STM
- 雷射干涉儀
- 訊號處理器
- 自動視準儀
- 電子水平儀
- 多面稜鏡
- Elmo 馬達運動監控器與介面控制卡
- 三角雷射
- 電容式位移計處理器 Dspace – 控制系統軟硬體…等
| 採購時間 | 儀器名稱 | 型式廠牌 |
|---|---|---|
| 106.12.31 | 機器手臂及其周邊系統 – 2 | 六軸關節式機械手臂、上下料夾具、三部 CNC 工具機整合控制系統 |
| 106.12.31 | 國產化銑床加工系統主體設備 | QP1620-L |
| 106.12.31 | 國產五軸銑床及其周邊系統 | U-600P |
| 106.12.31 | 國產化車床加工系統主體設備 | X 軸行程至少 210 mm. Z 軸行程至少 320 mm |
| 105.08.31 | 五軸 CNC 加工機及其周邊設備 | 含機械手臂 |
| 101.11.22 | 一般用途鏟配專用機及其週邊設備 | |
| 99.08.17 | 奈米級精度位移平台調校系統 | 高精度電子水平儀量測系統高精度長距離水平與垂直校量測 |
| 99.08.01 | 光子晶體轉印設備對位模組 | 單軸進給平台透明模具/視覺對位系統/影像處理模組 |
| 98.12.29 | 鏟配雷射量測裝置 | 雷射光源/伺服馬達具電源供應器/可調焦距/偏極光分鏡 |
| 97.12.30 | 五軸加工機機台 | 主軸油冷卻系統切屑區環沖系統/警示燈/五軸控制器 |
| 97.05.12 | 雙頻雷射干涉儀 | 雷射頭連接線/校正卡與軟體雷射頭腳架/線性量測鏡組 |
| 94.12.23 | 雷射曝光頭等整合相關設備 | 含曝光頭/光源 |
| 94.12.23 | 熱分佈檢測系統 | 含檢知器/螢幕 |
| 93.12.24 | 自動視準儀 | 雙軸角度多自由度 |
| 93.12.24 | 光學性質與光學元件量測系統 | 含模擬/操作軟體 |
| 93.12.24 | 多軸奈米級量測系統 | 電源供應器 含光學尺，反射鏡，偵測器，雷射頭 |
| 93.12.23 | 奈米級微動平台及周邊設備 | 含壓電致動器，雷射頭與光籤耦盒器 |
| 93.11.05 | 高速立式 CNC 綜合加工機 | Z 軸行程 450mm（含以上）控制器 |
| 92.12.30 | 三軸與五軸微動平台系統 | 含軸控卡，滾珠導螺桿，過濾器裝置 |
| 92.12.29 | 精密光學量測系統 | 含感應器，鏡組，光學平台，三腳架 |
| 92.12.29 | 雷射干涉儀 | 雙發脈衝，光源採用 He-Ne 雷射 |
| 92.12.25 | 非接觸式動態特性量測系統 | 速度感測器量測量可達 400mm/s 以上 |
| 91.12.26 | 原子力顯微鏡 | GF3-910220 |
| 91.12.19 | 雷射干涉儀 | 含相關鏡頭組一套含雷射頭，線性量測鏡組，2 軸同步遙控器 |